富创精密申请一种适用于半导体行业的真空手动角阀专利

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航空产业网 2024-09-06

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沈阳富创精密设备股份有限公司申请一项名为"一种适用于半导体行业的真空手动角阀"的专利,申请日期为2024-04-27。

专利摘要显示,本发明涉及真空手动角阀技术领域,公开了一种适用于半导体行业的真空手动角阀,包括手柄、中心轴、盖板、可伸缩的波纹管、卡板、螺纹转接件和阀体以及阀体上的法兰,所述波纹管上端和下端分别设置有上法兰和下法兰,所述上法兰搭设在阀体的法兰上,所述卡板上端设置有折边,卡板外轮廓为圆柱体状并穿过上法兰的内圈,折边搭设在上法兰上,所述螺纹转接件插入到卡板的内圈且与卡板之间竖直滑动连接;本发明中第一密封圈移动和压紧阀体管道时不会发生转动,避免产生微小颗粒而污染管路环境,在开或关过程中,手柄和中心轴不会发生轴向移动,方便在狭小空间操作,且操作时联动关系稳定。

查看详情 : 一种适用于半导体行业的真空手动角阀

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