中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2025-05-06
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所成为光电MEMS研究中心的供应商
聚焦压力传感器及航天光传感器、化学量传感器、生物量传感器、物理和生物化学量的气体传感器等研发方向。在微纳制造技术和新型传感器研究方面具有一定的国际影响力，在多种MEMS 传感器、微纳加工与自组装技术、生化检测与分析系统纳米敏感材料与效应等方面，处于国际先进和国内领先水平。
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