中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-04-19
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北京长城航空测控技术研究所有限公司申请一项名为"航空发动机叶片高温薄膜传感器的制备方法及其传感器"的专利，申请日期为2023-12-26。
专利摘要显示，本发明提供一种航空发动机叶片高温薄膜传感器的制备方法，其包括：S1、抛光表面粗糙度为纳米级的合金基底；S2、采用磁控溅射法在叶片合金基底上沉积NiCoCrAlY过渡层；S3、在NiCoCrAlY过渡层上采用原位生长方式形成热生长Al2O3扩散层；S4、在热生长Al2O3扩散层上沉积HfO2绝缘层，并通过掩膜溅射法或剥离法实现图形化；本发明薄膜传感器包括叶片合金基底、NiCoCrAlY过渡层、Al2O3扩散层和HfO2绝缘层，本发明通过多层薄膜交替沉积进行由导电合金基底到薄膜传感器的过渡，通过后一层沉积的薄膜封闭前一层薄膜中的孔洞和裂纹，减少绝缘结构中的导电通路数量，通过原位形成的Al2O3扩散层，能够有效地缓解多层薄膜结构中的热应力失配问题，实现对高温下导电基底上传感器的良好绝缘和结合力。
查看详情 : 航空发动机叶片高温薄膜传感器的制备方法及其传感器
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