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2022年04年24日
航空产业网 2024-06-14
贵州振华风光半导体股份有限公司申请一项名为"一种以华夫盒为载体的分离芯片清洗方法"的专利,申请日期为2024-01-30。
专利摘要显示,一种以华夫盒为载体的分离芯片清洗方法,属于属于集成电路封装领域。所述清洗方法为:分离芯片转移:采用华夫盒翻转方法,将华夫盒中的分离芯片转移至胶膜上;华夫盒清洗:在1号清洗液中加入水基清洁剂溶液,对华夫盒进行清洗,用聚乙烯醇纳米海绵擦拭;分离芯片清洗:将二氧化碳气体通入去离子水中,再加入水基清洁剂,再加入到2号清洗液中,对胶膜上的芯片进行清洗,采用聚乙烯醇纳米海绵刷洗,去离子水冲洗,热水慢提拉脱水处理,热氮气吹干;分离芯片装盒:将清洗脱水后的芯片装入清洗烘烤后的华夫盒中。解决了现有技术中存在的芯片掉片、芯片残留水汽、芯片二次沾污、静电损伤等问题。广泛应用于半导体集成电路芯片及其载体华夫盒的清洗。
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