中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-11-22
223
0
0
中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请一项名为"一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用"的专利，申请日期为2024-08-16。
专利摘要显示，本发明涉及一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用，组分包括液相载体、磨料、氧化剂、pH稳定剂、pH调节剂。本发明碳化硅抛光液克服现有技术中的不足，其制备方法简单、高效。此外，所述抛光液通过加入特定结构的有机磨料，使得抛光液的抛光质量、抛光速率和抛光表面亦获得很大提升。
查看详情 : 一种碳化硅抛光液及其制备方法和应用
原文链接 :
点击查看
评论 (0)