中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-12-20
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北京烁科中科信电子装备有限公司有了新供应商:东文高压电源（天津）股份有限公司
北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月，是国内唯一一家产品门类齐全，集研发、制造、服务于一体化的集成电路领域注入机供应商。以中国电子科技集团公司第四十八研究所（成立于1964年）和北京中科信电子装备有限公司（成立于2003年）离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地，在长沙设有分公司。 公司先后承担“十五”863计划集成电路制造装备重大专项“100nm大角度离子注入机”项目、“十一五”国家02重大专项“90-65nm中束流离子注入机研发及产业化”项目、“十二五”国家02重大专项“45-22nm低能大束流离子注入机研发及产业化”项目，取得了一系列重要成果。目前公司产品已进入国内最先进的集成电路生产线，实现大规模量产。公司产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，形成中束流、大束流、高能机、定制机、化合物半导体等系列化离子注入机产品系列。
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