广东省科学院新材料研究所申请一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用专利

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航空产业网 2024-11-19

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广东省科学院新材料研究所申请一项名为"一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用"的专利,申请日期为2024-08-07。

专利摘要显示,本发明公开了一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用,属于耐磨涂层技术领域。该硅掺杂类金刚石复合润滑涂层包括用于在基底表面依次设置的SiC打底层和Si‑DLC功能层;其中,SiC打底层具有柱状结构,SiC打底层的厚度为0.3μm~0.4μm;Si‑DLC功能层具有致密的无特征结构,Si‑DLC功能层的厚度为2.0μm~5.0μm。该涂层能够同时具有低摩擦、高硬度、高韧性、高耐磨以及抗开裂性能。其制备方法简单,易操作,具有沉积温度低、成膜均匀、重复性好以及实用性广等特点。所得的涂层既可用于硬质基底,也可用于柔性基底,极大拓宽了类金刚石薄膜的应用范围。

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