中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-10-01
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沈阳富创精密设备股份有限公司申请一项名为"一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构"的专利，申请日期为2024-05-27。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构，销导向板通过导向板安装柱定位和安装在中间板上，其作用是接触定位销并导正晶舟盒搬运小车，实现晶舟盒搬运小车左右方向的定位。锁止块通过铰链销安装在锁止座上，并与拉杆相连，拉杆在脚踏连杆的拖动下可绕铰链转动，形成一个双摇杆连杆机构，人工可以在连接在脚踏连杆上的脚踏杆施加向下的力实现机构的运动，最终在锁止块弹簧和拉簧拉力的作用下复位。本发明通过人工推动小车，自动锁止机构经过导向槽口、弹簧和锁止块的多方向限位，实现与SEMI E83标准接口的准确定位和自动锁止，还可方便解锁，从而实现小车与晶圆装载结构的相对位置确定。
查看详情 : 一种晶舟盒搬运小车的自动锁止机构
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