中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-10-11
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浙江大学申请一项名为"分离式深栅LDMOS器件及制造方法、芯片"的专利，申请日期为2024-09-05。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，提供一种分离式深栅LDMOS器件及制造方法、芯片。该器件包括：衬底、体区、漂移区、源区、漏区、分离式深栅结构及场板结构，体区、漂移区、源区及漏区形成于衬底中，体区与源区相接，漂移区与漏区相接；分离式深栅结构包括多个嵌入体区内的纵向深栅，相邻两个纵向深栅之间通过体区相互隔离；场板结构包括多个嵌入漂移区内的场氧化层，相邻两个场氧化层之间通过漂移区相互隔离；相邻两个纵向深栅之间的体区与相邻两个场氧化层之间的漂移区相接，多个纵向深栅分别与多个场氧化层相接。本发明采用分离式的纵向深栅结构和场板结构形成多个导电沟道，增加栅对沟道的控制，增加器件的导通电流，从而降低导通电阻。
查看详情 : 分离式深栅LDMOS器件及制造方法、芯片
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