304所取得一种高精度位移传感器数字化检测装置专利

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航空产业网 2024-09-06

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中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所取得一项名为"一种高精度位移传感器数字化检测装置"的专利,授权公告号CN117629047B,申请日期为2023-11-30。

专利摘要显示,本发明公开了一种高精度位移传感器数字化检测装置,包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件,激光干涉组件和夹持组件安装在升降基础组件上,夹持组件用于紧固待检位移传感器,待检位移传感器用于检测升降基础组件的精密工作台的位移变化量,激光干涉组件能够通过精密工作台的运动产生干涉光的变化量,从而得到精密工作台的位移变化量,本发明通过升降基础组件实现高精度的位移量的调整,通过激光干涉组件实现调整后位移的测量,通过夹持组件实现不同类型传感器的夹持与调整。本发明能够实现高精度位移传感器的高效率的连续的数字化检测。

查看详情 : 一种高精度位移传感器数字化检测装置

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