中科院力学所申请一种抗铝液粘附涂层及其制备方法专利

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航空产业网 2024-10-08

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中国科学院力学研究所申请一项名为"一种抗铝液粘附涂层及其制备方法"的专利,申请日期为2024-06-13。

专利摘要显示,本发明提供了一种抗铝液粘附涂层及其制备方法,该制备方法包括:对压铸模具钢基材进行预处理,以及对镀膜设备的真空室气路进行清洗;采用直流磁控溅射清洗Al Cr靶和Cr靶,通过等离子体发射光谱反馈系统获取Al Cr靶的靶面等离子体的发射光谱,选取Al原子谱线390~400nm处作为监测谱线,并设定所述Al原子谱线390~400nm处相对强度;先进行压铸模具钢基材辉光清洗,然后采用直流磁控溅射对Cr靶进行溅射,制备Cr结合层与CrN过渡层;接着基于等离子体的发射光谱,采用HiPI MS技术对所述Al Cr靶进行溅射,同时通过反馈控制向真空室动态的通入氮气,沉积得到Al CrN功能层。本发明可以实现HiPI MS快速稳定制备高性能Al CrN功能涂层,涂层表面质量好,具有较高硬度和抗铝黏着性能,适用于一体化压铸模具极端服役环境的特点。

查看详情 : 一种抗铝液粘附涂层及其制备方法

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