中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-09-17
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北京烁科中科信电子装备有限公司取得一项名为"一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源"的专利，授权公告号CN221727053U，申请日期为2024-01-15。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种离子注入机用离子源坩埚结构，包括坩埚和用于加热坩埚的加热部件，所述坩埚连接有进气管和出气管，所述出气管延伸至离子源的弧室。一种离子注入机用离子源，包括高温区和弧室，还包括上述的离子注入机用离子源坩埚结构。本实用新型可以通过进气管向坩埚内部输送特定载气或反应气体，将高温固态或液态物质通过气体反应变为气态物质，通过出气管输送到离子源的弧室；或者通过载气携带，将低饱和蒸汽压气态物质，通过出气管带入到离子源的弧室；然后进一步电离得到难熔难蒸发固态元素的离子束流，可以提升样品使用寿命，减少固态污染物沉积，降低坩埚蒸发固态物质所需要的温度，提高离子源使用寿命和维护周期。
查看详情 : 一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源
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