航天五院五〇八所申请一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置专利

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航空产业网 2024-08-27

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北京空间机电研究所申请一项名为"一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置"的专利,申请日期为2024-05-28。

专利摘要显示,一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置,既去除了使用子孔径拼接法对单子孔径检测时由于参考面精度有限引入的面形误差,提高了检测精度,又将双剪切平移法这一绝对检测技术扩展到大口径平面镜检测领域,扩大了其所能测量的镜面尺寸,降低了大口径平面镜检测过程中的装调难度。包括:(1)搭建测量装置;(2)对每个子孔径区域进行五次检测;(3)移动被测镜,使干涉仪出射光束依次覆盖其他未检测的子孔径区域,对所有子孔径区域进行步骤(2);(4)重复步骤(3),直至所有子孔径检测完毕;(5)利用基于离散相位数据的结构法,根据各子孔径的差分面形数据复原出各子孔径的面形;(6)拼接得到被测镜的全口径面形。

查看详情 : 一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置

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