中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-08-06
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请一项名为"一种高密度MIM电容器及其制备方法"的专利，申请日期为2024-04-18。
专利摘要显示，本发明涉及一种高密度MIM电容器及其制备方法，所述电容器通过在电容区域内增加金字塔状区域，实现单位芯片面积内实际电容结构面积的提升，能显著增加电容密度，提高器件集成度，同时，由于仅增加了一步预刻蚀工艺，其制作难度也较低，不会显著增加制作成本和工艺难度，具有良好的市场应用前景。
查看详情 : 一种高密度MIM电容器及其制备方法
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