中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-07-16
185
0
0
重庆天箭惯性科技股份有限公司申请一项名为"一种大工艺容差的MEMS环形陀螺谐振子结构"的专利，申请日期为2024-04-18。
专利摘要显示，本发明属于MEMS环形陀螺技术领域，具体涉及一种大工艺容差的MEMS环形陀螺谐振子结构，包括具有空腔的圆环谐振质量、调节质量、位于圆环谐振质量的内腔中心的中心锚点，以及连接于中心锚点和圆环谐振质量之间的弹性支撑梁结构，圆环谐振质量具有圆环，调节质量施加在圆环谐振质量的圆环上平滑的改变环宽，本发明提出了一种新的大工艺容差的MEMS环形陀螺谐振子结构，通过对环上有效质量的重新分布，在保证高品质因数的同时，有效降低加工误差产生的频率裂解，提高陀螺加工鲁棒性，提高产品的一致性和可靠性。
查看详情 : 一种大工艺容差的MEMS环形陀螺谐振子结构
原文链接 :
点击查看
评论 (0)