中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-06-14
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请一项名为"一种异质界面的TEM制样方法"的专利，申请日期为2024-03-11。
专利摘要显示，本发明涉及一种异质界面的TEM制样方法，通过对机械手延伸的方法解决了现有技术存在的问题，能够精准控制机械手的延伸长度，延伸长度可在几至几十微米的范围内选择，本文中机械手延伸长度通过控制挖槽宽度和U切，利用机械手在空间旋转180°将延伸长条宽度变成机械手延伸长度，实现机械手延伸长度的精准控制。用延伸后的机械手进行TEM制样避免了因为高低差造成的无法取样，或裂片以后额外增加将界面打磨平整的步骤。本发明无需破真空和打磨操作，实现了高效率的TEM样品制备。
查看详情 : 一种异质界面的TEM制样方法
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