中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-05-14
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西安航空制动科技有限公司取得一项名为"一种垫块及具有该垫块的沉积炉"的专利，授权公告号CN220952046U，申请日期为2023-11-07。
专利摘要显示，本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体涉及一种垫块及具有该垫块的沉积炉，包括：垫块基体，垫块基体用于支撑沉积炉的碳筒内的预制体，垫块基体与预制体接触的表面上开设有纵横交错的排气槽，其中，垫块设置在每个沉积炉的碳筒内的每两个预制体之间。本实用新型通过垫块与预制体接触位置的排气槽使得工艺气体向外扩散，使得预制体内外气体达到自平衡，使得预制体内外气体流场分布更为均匀，从而保证预制体增密效果。
查看详情 : 一种垫块及具有该垫块的沉积炉
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