中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-05-07
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无锡松瓷机电有限公司取得一项名为"单晶炉"的专利，授权公告号CN220907726U，申请日期为2023-09-15。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种单晶炉，包括炉体及安装于炉体内的坩埚、加热装置、水冷屏、导流筒及导流筒升降机构；坩埚用于容纳硅液；水冷屏与导流筒安装于坩埚的上方，导流筒位于水冷屏的外围；水冷屏用于冷却晶棒，导流筒用于导流炉体内的气体；导流筒安装于导流筒升降机构上，导流筒升降机构被配置为带动导流筒升降；加热装置包括坩埚加热器及液面加热器；坩埚加热器布置在坩埚的周围，用于加热坩埚；液面加热器布置在坩埚的上方，用于加热坩埚内硅液的液面。通过在坩埚上方布置液面加热器对坩埚内硅液的液面加热，从而能更精准地保持硅液液面温度的平稳，提高晶棒质量。
查看详情 : 单晶炉
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