中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-04-30
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北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为"离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机"的专利，申请日期为2023-12-28。
专利摘要显示，本发明公开了一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机，监测系统包括红外测温单元和一个以上的红外窗口，所述红外窗口位于离子注入机靶盘所在的真空腔室壁上，且与靶盘的测温位置相对应；所述红外测温单元位于真空腔室外侧且正对于红外窗口，所述红外窗口在红外测温单元工作波段具有预设透过率。本发明具有测温精度高、实时性好等优点。
查看详情 : 离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机
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