中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-04-16
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重庆中科渝芯电子有限公司取得一项名为"基于异质结薄膜光源的光耦、其放大集成电路及制作方法"的专利，申请日期为2019-09-02。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于异质结薄膜光源的光耦，包括使用集成电路工艺制作在第一衬底上的自下而上轴向排布的硅基TiO2薄膜光源、第一介质层和硅光探测器。本发明还公开了上述基于异质结薄膜光源的光耦的制作方法、基于异质结薄膜光源的光耦的放大集成电路以及该放大集成电路的制作方法。本发明中基于异质结薄膜光源的光耦的硅光探测器和硅基TiO2薄膜光源制作在同一个衬底上，器件集成度高、封装尺寸减小、降低了制造难度和成本；本发明的基于异质结薄膜光源的光耦，能够与电路集成在同一个衬底上，同时光源与光探测器轴向堆叠，不仅缩短了光的传输距离，还能在提高集成度的同时减少光在传播过程中的损耗。本发明适用于光电耦合器集成技术领域。
查看详情 : 基于异质结薄膜光源的光耦、其放大集成电路及制作方法
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