北航申请基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法专利

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航空产业网 2024-05-17

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北京航空航天大学申请一项名为"基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法"的专利,申请日期为2024-04-16。

专利摘要显示,本发明公开了基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法,属于光学器件集成领域,包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器,薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的SiO2上包层和SiO2下包层,铌酸锂波导层包括SOI晶圆基底层和铌酸锂薄膜。本发明采用上述基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法,混合集成了光源,起偏器、分束器、调制器和探测器,在保证原有分立器件性能的同时,实现了器件组合整体结构的小型化。

查看详情 : 基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法

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