中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请一种光纤-波导耦合器及其制作方法专利

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航空产业网 2024-09-17

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请一项名为"一种光纤-波导耦合器及其制作方法"的专利,申请日期为2024-06-14。

专利摘要显示,本发明提供一种光纤‑波导耦合器及其制作方法,通过将第一多模光纤与高折射率光纤熔接,形成特定尺寸的渐变结构,有效降低了模式转换损耗。同时,通过凹槽技术将经过拉锥处理的高折射率光纤固定于SOI衬底上,实现了高折射率光纤与锥形波导的高精度对准和绝热耦合,显著提升耦合效率和带宽。在1550纳米工作波长下,该光纤‑波导耦合器仿真耦合效率高达99.4%,‑1dB带宽约220纳米。本发明的光纤‑波导耦合器制作工艺简单,成本低,无需昂贵的3D打印技术或波导悬空设计,具有优良的结构稳定性,对位置变化不敏感,且能抵抗机械振动,适用于低温工作环境。

查看详情 : 一种光纤-波导耦合器及其制作方法

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