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2022年04年24日
航空产业网 2024-08-23
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昆明理工大学申请一项名为"一种柔性薄膜电阻的测试方法"的专利，申请日期为2024-07-16。
专利摘要显示，本发明提供了一种柔性薄膜电阻的测试方法，涉及半导体技术领域，包括以下步骤：S1、在薄膜表面覆盖有电极开孔的掩膜版，采用脉冲激光沉积技术，使用金靶在薄膜表面制备底层电极，并对底层电极进行原位退火；S2、采用移液枪吸取银胶滴定到底层电极表面制备粘结层；S3、将银片切割成与底层电极形状、大小一致的小片用作顶部硬质层电极，并将其立即转移到粘结层上，烘干使其定型；S4、采用超声波焊接仪将所制备电极与四探针测试仪连接，得到实时电阻。本发明的方法可以实现对柔性薄膜电阻的无损测试，确保测试过程中薄膜结构不受损坏，同时保证导线与柔性薄膜表面的牢固连接，维持接触电阻在恒定水平。
查看详情 : 一种柔性薄膜电阻的测试方法
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