304所申请一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器专利

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航空产业网 2024-04-09

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中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所申请一项名为"一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器"的专利,申请日期为2024-01-05。

专利摘要显示,本发明公开了一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器,所述敏感元件包括上盖、下盖和敏感结构,上盖、下盖与敏感结构形成封闭腔;敏感结构包括封装边框、支撑梁、阻尼膜片和质量块,封装边框用于保护质量块,封装边框的厚度大于质量块的厚度;阻尼膜片设置在质量块的底部外周,阻尼膜片与下盖之间形成阻尼腔,阻尼膜片第一膜片和第二膜片,第一膜片和第二膜片分别包括相对于质量块对称设置的两个半径相同的四分之一膜片,第二膜片的半径小于第一膜片,第二膜片与第一膜片的半径比不小于1/3;支撑梁用于连接质量块与封装边框,阻尼膜片的厚度小于支撑梁的厚度的1/20。本发明能够在实现传感器阻尼参数可调控的同时不影响传感器的其他参数设计。

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