中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-04-02
229
0
0
北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为"一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法"的专利，申请日期为2023-11-28。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法，所述静电扫描系统包括电极板组件、剂量法拉第和靶台；所述剂量法拉第上设有束流通道；所述电极板组件位于剂量法拉第的一侧，用于实现束流水平和垂直方向的扫开；所述靶台位于剂量法拉第的另一侧，用于实现样品的旋转；所述全电扫描方法包括步骤：靶室内部靶台上的样品预先按一定角度倾斜，同时以一定转速进行转动，并送达至靶室的注入区域；束流通过电极板组件在水平和垂直方向上扫开形成一个方形束斑，通过剂量法拉第上的束流通道后，进入至靶室内的注入区域，实现对样品外表面的束流注入。本发明具有操作简便、成本低等优点。
查看详情 : 一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法
原文链接 :
点击查看
评论 (0)