无锡中微掩模电子有限公司申请一种新型测量仪上下料装置及方法专利

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航空产业网 2024-08-16

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无锡中微掩模电子有限公司申请一项名为"一种新型测量仪上下料装置及方法"的专利,申请日期为2024-04-18。

专利摘要显示,本发明公开了一种新型测量仪上下料装置及方法,包括底板和万向轮,所述底板上表面一侧固定连接立柱,所述立柱上方固定连接放置平台,所述放置平台一侧,位于底板上设有控制箱体,所述控制箱体上固定设有第一传输手臂,所述第一传输手臂远离放置平台的一侧,位于底板通过立柱固定设有定位平台,所述定位平台上设有定位柱,所述定位柱上套结金属掩膜板载物托盘,通过第一传输手臂和第二传输手臂上的移动水平板水平移动金属掩膜板载物托盘,使金属掩膜板载物托盘的移动保持恒定,减少传输转动次数,使金属掩膜板只需要在同一水平线上运动,即可完成从放置平台到量测平台上的位移,且整体装置成本低,便于推广。

查看详情 : 一种新型测量仪上下料装置及方法

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