中国航空发动机集团简介、直属单位与主营业务
2022年04年24日
航空产业网 2024-06-11
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北京航空航天大学申请一项名为"一种氧化锌压电薄膜体声波谐振器及制备方法"的专利，申请日期为2024-05-14。
专利摘要显示，本发明属于氧化锌薄膜半导体器件技术领域，具体公开了一种氧化锌压电薄膜体声波谐振器及制备方法，包括基底，所述基底包括上平面，所述上平面上设有下电极层，下电极层上设有掺杂氧化锌压电层，掺杂氧化锌压电层上表面与上电极层接触，下表面与下电极层接触，所述掺杂氧化锌压电层包括ZnO主组分以及掺杂组分，掺杂组分包括P型掺杂源、N型掺杂源和加工带入掺杂源中的一种或多种的组合。本发明组分设计合理，磁控溅射制备工艺优化，具有高灵敏度的压电效应，压电层组分含量更接近预设组分含量，具有很宽的工作频率范围，可以覆盖多种应用场景。
查看详情 : 一种氧化锌压电薄膜体声波谐振器及制备方法
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